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  • 商品名稱: 中頻電源系列
  • 商品編號: 3
  • 上架時間: 2013-05-27
  • 浏覽次數: 891

  • 詳細介紹

 

産品特點

 

*全數字控制

*易于起振

*負載適應性好

*諧振頻率高

*帶RS485接口,可實現分布式控制

 

 

主要技術參數

 

輸  出  功  率:25kW~2000kW

諧  振  頻  率:500Hz~20kHz

輸 入 功 率 因 數:≥0.92

交流輸入電源制式:三相三線制、三相四線制、三相

                   五線制

效率:≥95%

 

 

應用領域

 

   晶體生長領域:單晶硅、多晶硅、藍寶石晶體、

                 碳化硅、砷化镓、磷化铟等晶

                 體的生長;多晶硅提純

             加熱應用領域:電阻加熱爐、管道加熱、淬火、

                       透熱、真空熔煉、坩埚熔煉、

                       碳化硅電爐

 

 

 

 

 

 

 

 

 
 
工作原理
 
  被處理工件、感應線圈和電容共同組成中頻電源的負載。通過對開關器件的控制,産生交變的電源施加于負載上,産生諧振。諧振頻率就是中頻電源的頻率。中頻電源在工件中感應出渦流,使工件的溫度升高,從而實現對工件的加熱。采用快速晶閘管或IGBT作爲開關器件,有並聯諧振和串聯諧振兩種諧振形式。可選配有源或無源電力濾波裝置。
 
    
 

 

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